미국과 네덜란드 정부가 중국 반도체 시장의 성장을 억제하기 위해 반도체 노광장비의 수출 제한을 꺼내 들었습니다.

주요 외신들에 따르면 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML은 지난 1일(현지시간) "최근 네덜란드 정부가 2023년 노광장비 'NXT:2050i'와 'NXT:2100i'의 수송 면허를 부분적으로 취소했다"며 "중국에 있는 소수 고객에게 영향을 미친다"고 밝혔습니다.

앞서 네덜란드 정부는 자국 반도체 장비 기업들이 일부 첨단 반도체 생산설비를 수출할 때 정부 허가를 받게끔 관련 조치를 시행한 바 있습니다. 특히 ASML은 세계 1위 반도체 장비 기업입니다. 전세계에서 유일하게 극자외선(EUV) 노광장비를 생산합니다. 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 미세한 회로를 새겨넣을 때 사용됩니다.

또한 블룸버그 통신은 이날 익명의 소식통을 인용해 "조 바이든 미국 행정부의 요청으로 ASML이 중국에 수출할 일부 장비의 수송을 취소했다"고 보도했습니다. ASML은 1월까지 중국 업체에 심자외선(DUV) 노광장비 3대를 수송할 수 있는 면허가 있었습니다. 하지만 미국 관리들이 일부 장비의 중국 수송을 즉각 중단해 달라고 요청한 것으로 알려졌습니다.

이에 중국 외교부 대변인인 왕원빈은 2일 "중국은 미국이 '국가안보' 개념을 일반화하고 각종 핑계로 다른 나라가 대(對)중국 과학기술 봉쇄를 하도록 협박하는 것에 일관되게 반대해왔다"고 말했습니다. 네덜란드 정부에 대해서는 "계약 정신을 존중해 실제 행동으로 중국-네덜란드 양국과 양국 기업의 공동 이익을 수호하기를 촉구한다"고 전했습니다. 

한편 중국 국영 반도체 기업 상하이마이크로일렉트로닉스(SMEE)는 최근 28나노 노광장비를 개발했습니다. SMEE 후원사 상하이장장그룹이 소셜미디어 '위챗'을 통해 이 같은 사실을 알렸습니다. 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)는 "SMEE의 28나노 노광장비 개발에 대한 첫 공식 확인이지만 중국 매체들의 보도는 검열됐다"고 알렸습니다.

노광장비를 포함한 반도체 시장에서 미국과 중국, 네덜란드의 관계가 어떻게 변화할지 궁금하지 않을 수 없습니다. 

자료=미디어뱀부
정리=김현기 기자 khk@techm.kr